Open AccessАтомная конфигурация и зарядовое состояние водорода на дислокациях в кремнии
Author(s) -
Н.В. Высотский,
A.С. Лошаченко,
О. Ф. Вывенко
Publication year - 2017
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2017.03.44198.8378
Subject(s) - computer science
Исследовалось влияние введения водорода на колебательные спектры и электрофизические свойства образцов с дислокационными сетками (ДС) на интерфейсе сращенных пластин кремния. Для увеличения чувствительности измерений и выделения сигнала ДС в спектрах комбинационного рассеяния использовались образцы в виде стандартных тонких фольг, применяемых в просвечивающей электронной микроскопии. В образцах с дислокационными сетками был зарегистрирован пик комбинационного рассеяния 2000 см -1 , который сохранялся после отжига при T=500 o C и не наблюдался в контрольных образцах. Сопоставление экспериментальных данных с имеющимися теоретическими расчетами позволило приписать обнаруженный пик к H 0 в центре Si-Si связи, который является метастабильным в идеальной решетке, но стабилизируется в окрестности дислокации. DOI: 10.21883/FTP.2017.03.44198.8378