Open AccessНаноразмерные пленки Cu-=SUB=-2-=/SUB=-O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств
Author(s) -
Д.А. Кудряшов,
A. S. Gudovskikh,
A. V. Babichev,
A. V. Filimonov,
А. М. Можаров,
В.Ф. Агекян,
Е. В. Борисов,
Alexandre Serov,
N. G. Filosofov
Publication year - 2017
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2017.01.44005.8318
Subject(s) - file transfer protocol , materials science , crystallography , chemistry , computer science , operating system , the internet
Методом магнетронного распыления сформированы наноразмерные слои оксида меди (I) на стеклянных и кремниевых подложках при комнатной температуре в бескислородной среде и проведены исследования их структурных и оптических свойств. Показано, что на кремниевой подложке происходит формирование оксида меди с меньшей разупорядоченностью, нежели на стекле, это подтверждается большей интенсивностью и меньшей полушириной рефлексов дифрактометрической кривой. Наибольшая интенсивность рефлексов дифрактометрической кривой наблюдается для пленок Cu 2 O, выращенных на кремнии при мощности магнетрона 150 Вт. Спектральная зависимость коэффициентов поглощения и пропускания этих же пленок Cu 2 O согласуется с известными зависимостями для объемных кристаллов. В рамановских спектрах пленок идентифицированы фононы, соответствующие кристаллической решетке кубических кристаллов Cu 2 O. DOI: 10.21883/FTP.2017.01.8318