Наноразмерные пленки Cu-=SUB=-2-=/SUB=-O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств | Zendy

Д.А. Кудряшов | Zendy; А.С. Гудовских | Zendy; A. V. Babichev | Zendy; A. V. Filimonov | Zendy; А М Можаров | Zendy; В.Ф. Агекян | Zendy; E. V. Borisov | Zendy; Alexandre Serov | Zendy; N. G. Filosofov | Zendy

Open Access

Наноразмерные пленки Cu-=SUB=-2-=/SUB=-O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств

Author(s) -

Д.А. Кудряшов,

А.С. Гудовских,

A. V. Babichev,

A. V. Filimonov,

А М Можаров,

В.Ф. Агекян,

E. V. Borisov,

Alexandre Serov,

N. G. Filosofov

Publication year - 2017

Publication title -

физика и техника полупроводников

Language(s) - Russian

Resource type - Journals

eISSN - 1726-7315

pISSN - 0015-3222

DOI - 10.21883/ftp.2017.01.44005.8318

Subject(s) - file transfer protocol , materials science , crystallography , chemistry , computer science , operating system , the internet

Методом магнетронного распыления сформированы наноразмерные слои оксида меди (I) на стеклянных и кремниевых подложках при комнатной температуре в бескислородной среде и проведены исследования их структурных и оптических свойств. Показано, что на кремниевой подложке происходит формирование оксида меди с меньшей разупорядоченностью, нежели на стекле, это подтверждается большей интенсивностью и меньшей полушириной рефлексов дифрактометрической кривой. Наибольшая интенсивность рефлексов дифрактометрической кривой наблюдается для пленок Cu 2 O, выращенных на кремнии при мощности магнетрона 150 Вт. Спектральная зависимость коэффициентов поглощения и пропускания этих же пленок Cu 2 O согласуется с известными зависимостями для объемных кристаллов. В рамановских спектрах пленок идентифицированы фононы, соответствующие кристаллической решетке кубических кристаллов Cu 2 O. DOI: 10.21883/FTP.2017.01.8318

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research