Исследование параметров наноразмерного слоя в наногетероструктурах на основе полупроводниковых соединений A-=SUP=-II-=/SUP=-B-=SUP=-VI-=/SUP=--=SUP=- 1-=/SUP=- | Zendy

М.Б. Караваев | Zendy; Д.А. Кириленко | Zendy; Е.В. Иванова | Zendy; Т.Б. Попова | Zendy; A. А. Ситникова | Zendy; И.В. Седова | Zendy; М.В. Заморянская | Zendy

Open Access

Исследование параметров наноразмерного слоя в наногетероструктурах на основе полупроводниковых соединений A-=SUP=-II-=/SUP=-B-=SUP=-VI-=/SUP=--=SUP=- 1-=/SUP=-

Author(s) -

М.Б. Караваев,

Д.А. Кириленко,

Е.В. Иванова,

Т.Б. Попова,

A. А. Ситникова,

И.В. Седова,

М.В. Заморянская

Publication year - 2016

Publication title -

физика и техника полупроводников

Language(s) - Russian

Resource type - Journals

eISSN - 1726-7315

pISSN - 0015-3222

DOI - 10.21883/ftp.2016.12.44082.8249

Subject(s) - physics , radiochemistry , chemistry

Методами локальной катодолюминесценции и рентгеноспектрального микроанализа проведено комплексное исследование широкозонных наногетероструктур на основе ZnSe, полученных методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Было показано, что используемые методы позволяют неразрушающим способом определять глубину залегания, элементный состав и геометрические параметры наноразмерного слоя ZnCdSe. Точность результатов контролировалась методом просвечивающей электронной микроскопии. Методики исследования основаны на возможности варьирования энергии первичного электронного пучка, что приводит к изменению областей генерации характеристического рентгеновского излучения и катодолюминесценции. DOI: 10.21883/FTP.2017.01.8249

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research