Open AccessИсследование параметров наноразмерного слоя в наногетероструктурах на основе полупроводниковых соединений A-=SUP=-II-=/SUP=-B-=SUP=-VI-=/SUP=--=SUP=- 1-=/SUP=-
Author(s) -
М.Б. Караваев,
Д.А. Кириленко,
Е. В. Иванова,
Т.Б. Попова,
A. А. Ситникова,
И.В. Седова,
М.В. Заморянская
Publication year - 2016
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2016.12.44082.8249
Subject(s) - physics , radiochemistry , chemistry
Методами локальной катодолюминесценции и рентгеноспектрального микроанализа проведено комплексное исследование широкозонных наногетероструктур на основе ZnSe, полученных методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Было показано, что используемые методы позволяют неразрушающим способом определять глубину залегания, элементный состав и геометрические параметры наноразмерного слоя ZnCdSe. Точность результатов контролировалась методом просвечивающей электронной микроскопии. Методики исследования основаны на возможности варьирования энергии первичного электронного пучка, что приводит к изменению областей генерации характеристического рентгеновского излучения и катодолюминесценции. DOI: 10.21883/FTP.2017.01.8249