Open AccessИсследования островковых пленок нитрида галлия на сапфировых подложках методами растровой электронной микроскопии и спектральной эллипсометрии
Author(s) -
А. А. Дедкова,
М. О. Никифоров,
S. Mitko,
В. Ю. Киреев
Publication year - 2019
Publication title -
rossijskie nanotehnologii
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 1993-4068
pISSN - 1992-7223
DOI - 10.21517/1992-7223-2019-3-4-93-100
Subject(s) - high electron mobility transistor , materials science , optoelectronics , engineering , electrical engineering , transistor , voltage