Open AccessОчистка кремниевых пластин с применением современных технологических решений в конструкции оборудования
Author(s) -
А.Д. Хылинский,
С.Ю. Бобков
Publication year - 2021
Publication title -
наука россии: цели и задачи
Language(s) - Russian
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.18411/sr-10-06-2021-25
Subject(s) - computer science
Данная статья является обзором на методы очистки кремниевых пластин, а в частности на установки, которые используется для этого. Целью является выявление наиболее автоматизированных линий или узлов оборудования для более эффективного достижения конечного результата.