Open AccessОсобенности разработки транспортной системы в установках отмывки пластин
Author(s) -
С.Ю. Бобков,
А.Д. Хылинский
Publication year - 2021
Publication title -
наука россии: цели и задачи
Language(s) - Russian
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.18411/sr-10-06-2021-22
Subject(s) - computer science
Предложена конструкция транспортной системы для перемещения полупроводниковых пластин в установке автоматической индивидуальной двухсторонней очистки и сушки пластин, включающая линейные приводы. В связи с тем, что на данном автомате обрабатываются пластины больших размеров, воизбежании их поломки, к точности их перемещения механизмов, к плавности хода, разгону и торможению предъявляются повышенные.