Open AccessПроцесс фотолитографии при изготовлении интегральных микросхем
Author(s) -
Н.Ю. Финогенов
Publication year - 2018
Publication title -
научные тенденции: вопросы точных и технических наук
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.18411/spc-12-04-2018-28
Subject(s) - computer science