Open AccessТонкопленочная технология изготовления интегральных микросхем
Author(s) -
М.К. Авсеенок
Publication year - 2018
Publication title -
научные тенденции: вопросы точных и технических наук
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.18411/spc-12-04-2018-11
Subject(s) - computer science