PENGARUH TEMPERATUR ANNEALING TERHADAP STRUKTUR MIKRO, SIFAT LISTRIK DAN SIFAT OPTIK DARI FILM TIPIS OKSIDA KONDUKTIF TRANSPARAN ZnO:Al YANG DIBUAT DENGAN TEKNIK SCREEN PRINTING

Film tipis ZnO:Al transparan telah dibuat dengan menumbuhkannya di atas substrat dari kaca mikroskop dengan menggunakan metode sol gel teknik screen printing. Partikel ZnO:Al dibuat dengan cara mencampurkan ZnAc dengan Aluminium nitrat nanohidrat ( Al/Zn = 1.0x10-2) dalam larutan etanol dan dietilen glikol (etanol/DEG = 1/3). Pasta ZnO:Al yang terbentuk dicetakkan pada substrat kaca dan masing masing di anealing pada temperatur 300 hingga 600oC. Hasil karakterisasi XRD mengindikasikan struktur kristal wurtzite ZnO dengan parameter kisi a = 3,249953 Å dan c = 5,241091 Å. Hasil pemotretan SEM memperlihatkan film oksida konduktif transparan ZnO:Al yang terbentuk memiliki struktur morfologi permukaan butiran dan berpori, dimana semakin tinggi temperatur anealing semakin besar ukuran butir. Hasil pengukuran four-point probe menunjukan bahwa resistivitas film ZnO:Al minimum ialah 0,87 Ω·cm untuk film yang dibakar pada temperatur anealing 500 ºC. Hasil pengukuran spektroskopi UV-Vis memperlihatkan semua sampel ZnO:Al memiliki transmitansi cahaya yang tinggi yaitu antara 70-90 %.Kata kunci: AZO, Oksida Konduktif Transparan, ZnO:Al, Screen Printing, Sifat Listrik, Sifat Optik.