Open AccessPROPRIEDADES ESTRUTURAIS, MECÂNICAS, TRIBOLÓGICAS E ESTABILIDADE TÉRMICA DE FILMES DE CARBONO AMORFO FLUORADO DEPOSITADOS POR PECVD
Author(s) -
MARCELO EDUARDO HUGUENIN MAIA DA COSTA
Publication year - 2015
Language(s) - Portuguese
Resource type - Dissertations/theses
DOI - 10.17771/pucrio.acad.6376
Subject(s) - materials science , physics