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Contaminação de lâminas de silício por metais durante a imersão em solução diluída de ácido fluorídrico ou de água deionizada contendo cloretos metálicos
Author(s) -
Elvis M. Oliveira,
Sebastião Gomes dos Santos Filho
Publication year - 2016
Publication title -
revista brasileira de aplicações de vácuo
Language(s) - Portuguese
Resource type - Journals
eISSN - 1983-4047
pISSN - 0101-7659
DOI - 10.17563/rbav.v35i2.915
Subject(s) - chemistry

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