Open AccessDEPOSIÇÃO DE FILMES DE TiN POR GAIOLA CATÓDICA EM ATMOSFERA DE PLASMA DE Ar-N2-H2
Author(s) -
Natália de Freitas Daudt,
Júlio César Pereira Barbosa,
Clodomiro Alves Júnior
Publication year - 2014
Publication title -
revista brasileira de aplicações de vácuo
Language(s) - Portuguese
Resource type - Journals
eISSN - 1983-4047
pISSN - 0101-7659
DOI - 10.17563/rbav.v30i1-2.919
Subject(s) - physics , tin , nuclear chemistry , humanities , chemistry , materials science , art , metallurgy