Open AccessВлияние наноразмерных слоев хемостимулятора-модификатора Mn3(P0.1V0.9O4)2 на процесс термического оксидирования GaAs, состав и морфологию формируемых плёнок
Author(s) -
Е. В. Томина,
Б. В. Сладкопевцев,
А. И. Донцов,
Lidia I. Perfileva,
I. Ya. Mittova
Publication year - 2020
Publication title -
kondensirovannye sredy i mežfaznye granicy
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.13
H-Index - 2
eISSN - 2687-0711
pISSN - 1606-867X
DOI - 10.17308/kcmf.2020.22/2535
Subject(s) - business