Open AccessВлияние обработки в парах серы на скорость термооксидирования InP, состав, морфологию поверхности и свойства плёнок
Author(s) -
О.С. Тарасова,
А. И. Донцов,
Б. В. Сладкопевцев,
I. Ya. Mittova
Publication year - 2019
Publication title -
kondensirovannye sredy i mežfaznye granicy
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.13
H-Index - 2
eISSN - 2687-0711
pISSN - 1606-867X
DOI - 10.17308/kcmf.2019.21/767
Subject(s) - passivation , heterojunction , semiconductor , compound semiconductor , materials science , analytical chemistry (journal) , chemistry , optoelectronics , nanotechnology , layer (electronics) , epitaxy , chromatography