z-logo
open-access-imgOpen Access
ЭВОЛЮЦИЯ СТРУКТУРЫ И СОСТАВА МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР a-Si/ZrO2 и a-SiOx/ZrO2 ПОД ДЕЙСТВИЕМ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО ОТЖИГА
Author(s) -
S. Yu. Turishchev,
D. A. Koyuda,
А. В. Ершов,
Ulii A. Vainer,
Т. В. Куликова,
Б. Л. Агапов,
E. N. Zinchenko,
М. В. Гречкина,
D. S. Usol’tseva,
В. А. Терехов
Publication year - 2018
Publication title -
kondensirovannye sredy i mežfaznye granicy
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.13
H-Index - 2
eISSN - 2687-0711
pISSN - 1606-867X
DOI - 10.17308/kcmf.2018.20/586
Subject(s) - materials science , nanotechnology , optoelectronics
Представлены результаты исследований методами растровой электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии и рентгеновской дифракции многослойных нанопериодических структур (МНС) a-Si/ZrO2 и a-SiOx/ZrO2 после напыления и подвергнутых термическому отжигу при температуре 1100 °С. Для МНС a-SiOx/ZrO2 обнаружено сравнительно более эффективное образование нанокристаллов кремния под действием высокотемпературного отжига. Стимулированная отжигом модификация структуры МНС a-Si/ZrO2 выражается в образовании неоднородностей с размерами ~ 100 нм и характеризуется активным взаимодействием компонент МНС с формированием тонкого слоя силицида кремния ZrSi2. Структурные исследования не показали наличия индуцированным отжигом фазы циркона в a-Si/ZrO2 наноструктурах.  Работа выполнена при поддержке Министерства образования и науки Российской федерации в рамках государственного задания ВУЗам в сфере научной деятельности на 2017–2020 гг. – проект № 16.8158.2017/8.9. Авторы выражают признательность И.А. Карабановой за методическую помощь в получении исследуемых образцов. Результаты исследований были получены с использованием ресурсов центра коллективного пользования научным оборудованием Воронежского государственного университета.  

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.
Having issues? You can contact us here