Open AccessЭВОЛЮЦИЯ СТРУКТУРЫ И СОСТАВА МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР a-Si/ZrO2 и a-SiOx/ZrO2 ПОД ДЕЙСТВИЕМ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО ОТЖИГА
Author(s) -
S. Yu. Turishchev,
D. A. Koyuda,
А. В. Ершов,
Ulii A. Vainer,
Т. В. Куликова,
Б. Л. Агапов,
E. N. Zinchenko,
М. В. Гречкина,
D. S. Usol’tseva,
В. А. Терехов
Publication year - 2018
Publication title -
kondensirovannye sredy i mežfaznye granicy
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.13
H-Index - 2
eISSN - 2687-0711
pISSN - 1606-867X
DOI - 10.17308/kcmf.2018.20/586
Subject(s) - materials science , nanotechnology , optoelectronics
Представлены результаты исследований методами растровой электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии и рентгеновской дифракции многослойных нанопериодических структур (МНС) a-Si/ZrO2 и a-SiOx/ZrO2 после напыления и подвергнутых термическому отжигу при температуре 1100 °С. Для МНС a-SiOx/ZrO2 обнаружено сравнительно более эффективное образование нанокристаллов кремния под действием высокотемпературного отжига. Стимулированная отжигом модификация структуры МНС a-Si/ZrO2 выражается в образовании неоднородностей с размерами ~ 100 нм и характеризуется активным взаимодействием компонент МНС с формированием тонкого слоя силицида кремния ZrSi2. Структурные исследования не показали наличия индуцированным отжигом фазы циркона в a-Si/ZrO2 наноструктурах.
Работа выполнена при поддержке Министерства образования и науки Российской федерации в рамках государственного задания ВУЗам в сфере научной деятельности на 2017–2020 гг. – проект № 16.8158.2017/8.9. Авторы выражают признательность И.А. Карабановой за методическую помощь в получении исследуемых образцов. Результаты исследований были получены с использованием ресурсов центра коллективного пользования научным оборудованием Воронежского государственного университета.