ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТИ АЛЮМИНИЕВОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ПРИ ПОМОЩИ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ
Author(s) -
Татьяна Геннадьевна Меньшикова,
Евгений Владимирович Гончаренко,
Маргарита Владимировна Гречкина,
Евгений Николаевич Бормонтов
Publication year - 2017
Publication title -
конденсированные среды и межфазные границы
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.13
H-Index - 2
eISSN - 2687-0711
pISSN - 1606-867X
DOI - 10.17308/kcmf.2017.19/176
Subject(s) - psychology
Разработана технология плазменного травления алюминиевой металлизации, приводящая к улучшению качества сварного шва и к 100% присоединению внутреннего вывода к контактным площадкам кристалла программируемой логической интегральной схемы (ПЛИС). Представлены показатели средней шероховатости, наибольшей высоты неровностей профиля, среднеквадратичной шероховатости до и после обработки в плазме. Проведена оценка влияния плазменного травления алюминиевой металлизации на величину усилия, необходимого для отрыва внутреннего вывода, приваренного к контактной площадке ПЛИС.
Результаты исследований получены на оборудовании Центра коллективного пользования научным оборудованием ВГУ.
Accelerating Research
Robert Robinson Avenue,
Oxford Science Park, Oxford
OX4 4GP, United Kingdom
Address
John Eccles HouseRobert Robinson Avenue,
Oxford Science Park, Oxford
OX4 4GP, United Kingdom