Open AccessОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТИ АЛЮМИНИЕВОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ПРИ ПОМОЩИ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ
Author(s) -
Татьяна Геннадьевна Меньшикова,
Евгений Владимирович Гончаренко,
М. В. Гречкина,
Евгений Николаевич Бормонтов
Publication year - 2017
Publication title -
kondensirovannye sredy i mežfaznye granicy
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.13
H-Index - 2
eISSN - 2687-0711
pISSN - 1606-867X
DOI - 10.17308/kcmf.2017.19/176
Subject(s) - political science
Разработана технология плазменного травления алюминиевой металлизации, приводящая к улучшению качества сварного шва и к 100% присоединению внутреннего вывода к контактным площадкам кристалла программируемой логической интегральной схемы (ПЛИС). Представлены показатели средней шероховатости, наибольшей высоты неровностей профиля, среднеквадратичной шероховатости до и после обработки в плазме. Проведена оценка влияния плазменного травления алюминиевой металлизации на величину усилия, необходимого для отрыва внутреннего вывода, приваренного к контактной площадке ПЛИС.
Результаты исследований получены на оборудовании Центра коллективного пользования научным оборудованием ВГУ.