Особенности структуры и кинетика роста плeнок из адамантана в тлеющем разряде
Author(s) -
Александр Моисеевич Штеренберг,
Alexandr Moiseevich Shterenberg,
V.I. Zyn,
Александр Владимирович Шацкий,
Alexader Vladimirovich Shatskii,
Александр Александрович Сафонов,
Alexandr Alexandrovich Safonov
Publication year - 2012
Publication title -
вестник самарского государственного технического университета серия физико-математические науки
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.302
H-Index - 2
eISSN - 2310-7081
pISSN - 1991-8615
DOI - 10.14498/vsgtu1117
Subject(s) - computer science
Accelerating Research
Robert Robinson Avenue,
Oxford Science Park, Oxford
OX4 4GP, United Kingdom
Address
John Eccles HouseRobert Robinson Avenue,
Oxford Science Park, Oxford
OX4 4GP, United Kingdom