Open AccessHomogenitas Ketebalan, Konduktivitas Listrik dan Band Gap Lapisan Tipis a-Si:H tipe-p dan tipe-p Doping Delta yang dideposisi dengan Sistem PECVD
Author(s) -
Enny Kusumawati,
Eddy Yahya
Publication year - 2015
Publication title -
jfa (jurnal fisika dan aplikasinya)/jfa
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 2460-4682
pISSN - 1858-036X
DOI - 10.12962/j24604682.v8i1.864
Subject(s) - physics , analytical chemistry (journal) , chemistry , chromatography