
Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC.
Author(s) -
Roberto Katsuhiro Yamamoto
Publication year - 2015
Language(s) - Portuguese
Resource type - Dissertations/theses
DOI - 10.11606/t.3.2008.tde-14082008-171713
Subject(s) - microplasma , materials science , physics , plasma , quantum mechanics