II. DESIGN AND DEVELOPMENT OF INSTRUMENTS FOR ELECTRON MICROSCOPE PHOTOGRAMMETRY

Résumé Le microscope électronique à balayage donne l'image de la surface d'un objet situé dans une boîte à spécimen où a été fait le vide. Un fin pinceau d'électrons balaie la surface synchroniquement avec un tube cathodique dont l'intensité est modulée en fonction du signal secondaire émanant du spécimen. Le système présente une grande profondeur de champ; on peut donc obtenir différentes perspectives du spécimen en le photographiant sous diverses inclinaisons (perspectives qui sont centrales, mais cependant justiciables d'être traitées comme parallèles pour de forts grandissements) et donc le restituer spatialement. On donne dans la première partie les limitations pratiques de l'appareillage, ainsi que le type et les causes de distorsion de l'image. Dans la deuxième partie, on décrit les caractéristiques d'un appareil de restitution adaptéà un cas standard: grandissement des deux clichés d'un stéréogramme: fixe‐angle d'ouverture du faisceau perspectif négligeable (c'est le cas pour de forte grossissements) et convergence relative des deux positions de la plaque porte‐spécimen est fixe. Zusammenfassung Das Abtast‐Elektronen‐Mikroskop liefert Bilder der Oberfläche von Objekten, die sich in einer Vakuum‐Kammer befinden. Ein feiner Elektronenstrahl tastet die Oberfläche in Synchronisation mit einer Kathodenstrahlröhre ab, deren Lichtpunkthelligkeit von dem sekundären Elektronensignal, das von der Probe ausgeht, moduliert wird. Das System gestattet eine grosse Schärfentiefe und erlaubt dadurch verschiedene Projektionen des zu photo‐graphierenden Musters durch Neigung desselben zwischen aufeinanderfolgenden Aufnahmen. Aus der Kenntnis der Geometrie der Projektion (die eine Zentralprojektion ist, jedoch für sehr stark vergrösserte Bilder annähernd als Parallel‐ oder Orthogonalfall behandelt werden kann) ist es daher möglich, zu dreidimensionalen Analysen durch Messung von Parallaxen zu kommen. Teil I der Arbeit handelt von den praktischen Problemen, die sowohl aus den Grenzen für die mechanische Konstruktion von Muster‐Halterungen und Auswertegeräten als auch den Verzerrungen der Bilder resultieren. Teil II beschäftigt sich mit praktischen Gesichtspunkten der bewährten Auswerteinstrumente, die speziell für die Lösung eines standard‐isierten Problems der Elektronenmikroskopie konstruiert wurden. Bei diesen wird die Vergrösserung der beiden Halbbilder eines Stereobildpaars konstant gehalten, der Divergenzwinkel der peripheren “Strahlen”, die sich aus dem zentralen “Strahl” ergeben, wird als vernachlässigbar angesehen (was bei Bildern mit starker Vergrösserung der Fall ist) und die Neigungswinkeldifferenz zwischen den zwei Lagen der Probe ist konstant.