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Dimeres SiO 2 Matrix‐IR‐Untersuchungen und ab initio SCF‐Rechnungen
Author(s) -
Mehner T.,
Göcke H. J.,
Schunck S.,
Schnöckel H.
Publication year - 1990
Publication title -
zeitschrift für anorganische und allgemeine chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.354
H-Index - 66
eISSN - 1521-3749
pISSN - 0044-2313
DOI - 10.1002/zaac.19905800115
Subject(s) - chemistry , crystallography
In einer Matrixreaktion zwischen (SiO) 2 und O 2 bildet sich dimeres SiO 2 . Seine Strukturläßt sich aus den IR‐Spektren verschiedener 18 O‐substituierter Isotopomerer nachweisen. Die beobachteten Frequenzverschiebungen ( 16 O/ 18 O und 28 Si/ 29 Si) stimmen mit denen überein, die in einer Normalkoordinatananalyse berechnet werden. Die aus experimentellen Daten abgeleitete Struktur wird auch durch quantenchemische Rechnungen unterstützt. Nach diesen Rechnungen beträgt die Dimerisierungsenergie [2SiO 2 ⇌ (SiO 2 ) 2 ] −453 kJ mol −1 . Der Bildungsmechanismus des (SiO 2 ) 2 aus (SiO) 2 und O 2 , dem in Hinblick auf Elementarprozesse bei der Oberflächenoxidation von Silicium Wafern Bedeutung zukommt, wird diskutiert.