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Beiträge zum chemischen Transport oxidischer Metallverbindungen. X. Herstellung dünner Granatschichten nach dem CVDn‐Verfahren
Author(s) -
Kleinert P.,
Heinke H.,
Schmidt D.,
Funke A.
Publication year - 1977
Publication title -
zeitschrift für anorganische und allgemeine chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.354
H-Index - 66
eISSN - 1521-3749
pISSN - 0044-2313
DOI - 10.1002/zaac.19774320115
Subject(s) - materials science , physics , chemistry
Das CVD‐Verfahren wurde zur Abscheidung phasenreiner Y 3 Fe 5 O 12 (YIG)‐Schichten auf das mit Ar verdünnte System YCl 3 /FeCl 2 /O 2 ohne Zusatz von Cl 2 angewendet. Dabei wurde zur Einstellung der Versuchsparameter eine graphische Auftragungsweise benutzt, die die Nutzung eines jeden Versuches zur Apparatureinstellung gestattet. Es wurden YIG‐Schichten auf (111)‐YAG erhalten, deren physikalische Volumeneigenschaften angegeben werden.