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Untersuchungen zum chemischen Transport von Tridymit mit HF in Gegenwart von KF bei Abscheidungstemperaturen von 1300 bis 1550 K
Author(s) -
Hofmann J.,
Gruehn R.
Publication year - 1977
Publication title -
zeitschrift für anorganische und allgemeine chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.354
H-Index - 66
eISSN - 1521-3749
pISSN - 0044-2313
DOI - 10.1002/zaac.19774310110
Subject(s) - chemistry , medicinal chemistry
Der chemische Transport von SiO 2 in Gegenwart von HF, von KF und von KHF 2 wurde experimentall untersucht. Die Rückreaktion zwischen SiF 4 und H 2 O, die zur Abscheidung von SiO 2 führt, ist an Quarzglasoberflächen gehemmt. Die Hemmung läßt sich an Platin‐ oder Nickeloberflächen oder besonders durch Zusatz von KF vermindern oder ganz aufheben. Die Bedeutung von Fremdionen (hier Kalium) bei der Abscheidung von Tridymit durch chemischen Transport konnte gezeigt werden. Die für den Transport von Tridymit in Gegenwart von KHF 2 bedeutende Reaktion ist exotherm. Endotherme Reaktionen und gasförmige Siliciumoxidfluoride sind am chemischen Transport von Tridymit nicht beteiligt.