Zur Darstellung von Trichlorsilan durch Hydrochlorierung von reinem Silicium bei 300–800°C

Die Zusammensetzung der Reaktionsprodukte der Hydrochlorierung von Silicium bei 300–800°C im Gleichgewicht wird aus thermodynamischen Daten berechnet (H 2 /HCl‐Verhältnis α = 10 bzw. 2) und mit experimentell ermittelten Werten verglichen. Die Übereinstimmung für α = 10 ist bis etwa 500°C sehr gut, für α = 2 für den gesamten Temperaturbereich unbefriedigend. Die Abweichungen werden mit einer mit steigender Temperatur fortschreitenden Blockierung der Si‐Oberfläche durch Hydrolysenprodukte und deren Abkömmlinge gedeutet. Es werden die Bedingungen angeführt, die zur Erzielung einer hohen SiHCl 3 ‐Ausbeute aus sehr reinem Si und HCl erforderlich sind.