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Über die Reduktion von Chlorsilanen mit Wasserstoff
Author(s) -
Sirtl Erhard,
Reuschel Konrad
Publication year - 1964
Publication title -
zeitschrift für anorganische und allgemeine chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.354
H-Index - 66
eISSN - 1521-3749
pISSN - 0044-2313
DOI - 10.1002/zaac.19643320302
Subject(s) - chemistry , medicinal chemistry , philosophy
Reinstes Silicium läßt sich durch eine Reaktion von Tri‐ bzw. Tetrachlorsilan mit Wasserstoff bei höherer Temperature gewinnen. Thermodynamische Berechnungen geben den Verlauf der experimentell gefundenen Ausbeutekurven nur dann richtig wieder, wenn gasförmiges Siliciumdichlorid in die Reaktionsgleichungen mit einbezogen wird. In Kombination mit kinetischen Betrachtungen läßt sich die Existenz eines von Temperatur und Molverhältnis abhängigen Ausbeutemaximums erklären. Die Auflösung (Anätzung) von Silicium bei geringerem Wasserstoffüberschuß kann auf diese Weise ebenfalls gedeutet werden.