Clustertools — ein neues Anlagenkonzept für die Schichtherstellung in der Mikroelektronik

Eine neue Anlagengeneration für Abscheide‐ und Ätzprozesse bei der Chipherstellung in der Mikroelektronik hat sich etabliert. Die Systeme erlauben die Integration mehrerer Prozeßschritte wie Reinigung, Abscheidung, Ätzung und Temperung in einem Vakuumsystem. Der Einsatz wird wesentlich durch die technologische Notwendigkeit der Beherrschung von Grenzflächen im Nanometerbereich sowie der Reduzierung von Partikeln vorangetrieben. Sie bieten aber auch Vorteile bei der Steuerung eines immer komplexeren Fertigungsprozesses mit einer zunehmenden Anzahl von Prozeßschritten und einer größeren Produktvielfalt. Hohe Anforderungen werden an die Zuverlässigkeit der Systeme gestellt.