Premium
Schwingquarz — Schichtdickenmessung
Author(s) -
Sotier Stefan
Publication year - 1992
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.2230040306
Subject(s) - humanities , physics , philosophy
Abstract Die Beschichtung von Quarzkristallen mit Edelmetallen zur feinen Frequenzabstimmung von Quarzoszillatoren wird seit Jahrzehnten praktiziert, während die Idee, Frequenzänderungen zur Bestimmung der Masse einer Beschichtung heranzuziehen, dagegen relativ neu ist. An Hand der historischen Entwicklung von einfachen Frequenzmeßverfahren bis zum vollautomatischen „Auto‐Z”‐Meßgerät wird gezeigt, wie durch eine stetige Verbesserung der zugrundeliegenden physikalischen Modelle höhere Präzision und längere Lebensdauer der Quarze erreicht werden konnten. Abschließend werden einige praktische Aspekte skizziert.