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Dekontamination von Vakuumpumpen und Komponenten aus der Halbleiter‐ und Elektronikindustrie
Author(s) -
Karges Jürgen,
Lamprecht Robert,
Schneider HansWalter
Publication year - 1991
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.2230030408
Subject(s) - political science , humanities , philosophy
Die Sicherheit der Mitarbeiter, der Umweltschutz und die Produktqualität: der reparierten Pumpen stehen im Mittelpunkt einer neuen Dekontaminierungsanlage für Vakuumpumpen und ‐komponenten aus den Halbleiterprozessen. Die Dekontamination und Wartung dieser Vakuumpumpen ist mit erheblichen Risiken verbunden. Die sich in den Pumpen befindenden toxischen Substanzen dürfen unter keinen Umständen in die Umgebung abgegeben werden. Einmalig in Europa ist die hier beschriebene Dekontaminationsanlage in der Nähe Münchens. Verschiedene Spezialfirmen fertigten Vorrichtungen und Maschinen nach speziellen Erfordernissen. Darüber hinaus wurden mit dem Hygiene‐Institut der Justus‐Liebig‐Universität in Giessen neue Wege der wissenschaftlichen und hygiene‐technischen Beratung von der Planung bis zur Abnahme der Anlage beschritten. Die Dekontaminierungsanlage mußte den strengen deutschen Umweltkriterien der Gewerbeaufsichtsämter und Umweltämter genügen.