Premium
Das Niederdruckplasma
Author(s) -
Franz Gerhard
Publication year - 1991
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.2230030407
Subject(s) - chemistry
Niederdruckplasmen zeichnen sich durch ungewöhnliche Eigenschaften aus, da sich lang‐ und kurzreichweitige Wechselwirkungen überlagern. Die selektive Übertragung der Energie auf die Elektronen bedingt starke Abweichungen von den thermodynamischen Gleichgewichtsbedingungen. Da sich das Plasma gegen äußere Einflüsse abschirmt, wird die Realisierung komplizierter Prozesse in einfachen Vakuumrezipienten möglich. Die wichtigste Anregungsart ist die Einkopplung von Wellen im RF‐ oder Mikrowellenbereich, die wichtigsten Technologien Sputtern und Plasmaätzen.