Auger‐Elektronenspektroskopie an Festkörperoberflächen Teil 1: Generelle Betrachtungen

Im Verlauf der letzten 20 Jahre hat sich die Augerelektronenspektroskopie (AES) als gängigste Methode zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung von Festkörpergrenzflächen durchgesetzt. Im ersten Teil dieses Artikels werden die notwendigen Voraussetzungen und theoreti‐schen Grundlagen der AES an Festkörperoberflächen beschrieben. Hierzu gehören der Anregungsprozeß zur Emission und die begrenzte Reichweite der Auger‐elektronen in Festkörpern, die die Oberflächenempfindlichkeit dieser Methode bedingt. Neben einigen Bemerkungen zur quantitativen Analyse, zu chemischen und Kristalleffekten, werden die notwendigen instrumentellen Voraussetzungen, wie Analysatoren und Nachweissysteme kurz erläutert. Die wichtigsten heute zur Verfügung stehenden Weiterentwicklungen sind ebenso genannt, wie nützliche Ergänzungen zur AES‐Methode.