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Die Entwicklung der Turbomolekularpumpe
Author(s) -
Henning Jörgen
Publication year - 1991
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.2230030108
Subject(s) - physics , philosophy , engineering
Von den Anfängen der Entwicklung der Turbomolekularpumpe ausgehend, wird die technische Entwicklung dieser Vakuumpumpe bis zum heutigen Stand der Technik behandelt. Die neuesten Kombinationen von Turbomolekularpumpen mit molekularen Pumpstufen ermöglichen den Einsatz von kleinen trockenen Vorpumpen. Trends für die zukünftige Entwicklung bei Turbomolekularpumpen werden erwähnt.