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Beschichtung von dreidimensionalen Substraten mit einem magnetfeldunterstützten Mikrowellen‐Plasma bei Raumtemperatur
Author(s) -
Weichart Jürgen,
Meyer Bernd,
Müller Jörg
Publication year - 1991
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.2230030107
Subject(s) - chemistry , polymer chemistry
Mikrowellenplasmen weisen im Vergleich zu Entladungen bei Gleichspannung oder Hochfrequenz (13,56 MHz) hohe Elektronendichten und energien auf. Durch Magnetfeldunterstützung wird Elektronzyklotron‐Resonanz erreicht, die ein stabiles Plasma bei niedrigem Druck (∼ 1 Pa) und niedriger Leistung ermöglicht. Die Magnetfelder werden zusammen mit der Gasführung zur Lenkung des Plasmas eingesetzt. Zur Ankopplung der Mikrowellen‐Leistung dient eine Helix‐Wanderfeld‐Antenne. Es wird gezeigt, daß eine effektive Innenbeschichtung von Polyethylen‐Flaschen möglich ist. Als Sperrschicht gegenüber Hexan zeigen a‐Si:H‐Schichten aus der Abscheidung von vierprozentigem Silan in Argon eine Sperrwirkung von 93%.