Vakuumerzeugung mit integrierter Druckmessung

Zusammenfassung In der Vakuumtechnologie werden Vakuumerzeugung und Vakuumdruckmessung als zwei komplett unterschiedliche Systeme betrachtet. In einigen wenigen vakuumtechnischen Komponenten werden beide Aspekte jedoch in einer Komponente zusammengeführt. So kann eine Ionengetterpumpe nicht nur Vakuum erzeugen, sondern auch – ähnlich wie eine Kaltkathodenionisationsvakuumröhre – den Vakuumdruck detektieren. Zwar lässt sich auch zwischen einer Turbopumpe und einem Spinning Rotor Gauge eine Analogie herstellen, in diesem Falle handelt es sich aber bestenfalls um eine Druckindikation und nicht um eine Vakuumdruckmessung. Dabei können mit den heutigen leistungsfähigen Turbopumpen‐Elektroniken einfache Vakuumtransmitter betrieben werden. Insbesondere für Anwendungen, bei denen kleinste Baugrößen und die Bedienung über eine einzige Schnittstelle nötig sind, kann die Integration von Vakuumdruckmessung in Vakuumerzeugung sehr sinnvoll sein. Der vorliegende Beitrag zeigt Möglichkeiten einer kompakten Integration der Druckmessung für Turbomolekularpumpen mit Dragstufe auf und bewertet die Aussagekraft einer Druckmessung am Flutanschluss.