UV‐Lasertechnologie in der PLD

Zusammenfassung Das Erfolgsrezept für jede Vakuum‐Dünnschichttechnologie in der Produktion ist das Meistern des Spagats zwischen präzisem Abscheiden der dünnen Funktionsschicht und gleichzeitigem Erreichen industriell relevanter Abscheideraten. Die Methode der gepulsten Laserabscheidung (Pulsed Laser Deposition) ist nicht zuletzt durch Fortschritte in der Vakuumsystemtechnik sowie durch die Erhöhung von Ausgangsleistung und Stabilität der eingesetzten UV‐Excimer‐Laser ihren Kinderschuhen entwachsen und hat sich als eine bewährte Methode zur Dünnschichterzeugung im Industriemaßstab durchgesetzt.