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Plasmaprozesse für 3D‐Formteile
Author(s) -
Cord Bernhard,
Klostermann Heidrun,
Wurczinger Dieter
Publication year - 2017
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201700642
Subject(s) - gynecology , physics , art , medicine
Plasma‐ und Vakuumbeschichtungstechniken haben heute Einzug in nahezu allen Bereichen unseres Lebens gehalten. So ist heute die Mikroelektronik, jeder Flachbildschirm, Wärmedämmscheiben, die Solartechnik, DVD's oder Blu‐ray Disc's, Werkzeuge, optische Komponenten und vieles mehr, nicht mehr ohne Plasmabeschichtung denkbar. Ein wesentlicher Qualitätsaspekt ist die Erzielung der gewünschten Eigenschaft mit hoher Gleichmäßigkeit auf den beanspruchten Oberflächen. Für planare oder leicht gekrümmte Oberflächen ist dies mit angepassten Plasmaquellen gut zu erreichen. Wenn jedoch 3D‐Formteile zu behandeln sind, steigt der Aufwand für eine gleichmäßige Behandlung und erfordert angepasste, teils komplexe Bewegungsregime der Teile während der Behandlung. Im vorliegenden Artikel wird an einigen Beispielen die Plasmavorbehandlung und Plasmabeschichtung von 3D‐Bauteilen mittels unterschiedlicher Verfahren vorgestellt.