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Die Dichtheitsprüfung an Beschichtungsanlagen
Author(s) -
Konwitschny Rudolf,
Barfuss Heinz
Publication year - 2017
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201700638
Subject(s) - humanities , philosophy
In diesem Beitrag geben die Autoren Einblicke in ihre langjährige Erfahrung bei optimalen Installation und der dem effektivsten Betrieb eines Heliumlecksuchers zur Dichtheitsprüfung an Beschichtungsanlagen mit Gaseinlasssystem. Der Anwender erfährt physikalische Zusammenhänge und Abhängigkeiten, welche die Ansprech‐ und Erholungszeiten beeinflussen. Der von Hilfspumpen größeren Einsatz bei Kammervolumina und das daraus resultierende Teilstromverhältnis werden betrachtet. Grundsätzliche Einsatzhinweise runden den Artikel ab.