Kostenstruktur von Plasmaverfahren

Beschichtungskosten erscheinen im Falle von Plasmaprozessen auf den ersten Blick durch hohe Investitionskosten dominiert zu sein. Hier wird gezeigt, dass Betriebs‐ und Verbrauchskosten von gleicher oder größerer Bedeutung sein können. Zielführend ist es, die Beschichtungskosten als einen Beitrag unter mehreren für das Endprodukt zu verstehen. Das Beispiel Solarzellen zeigt, dass es sich kaum lohnt, die Beschichtungsprozesse weiter zu beschleunigen, wogegen aber eine kleine Effizienzsteigerung bereits deutliche Kostenvorteile bringt. Auch bei Hartstoffschichten zeigt sich, dass man nicht an den Anlagen sparen sollte, sondern versuchen muss, den Energieverbrauch zu senken und die Abscheiderate zu erhöhen. Von den Beschichtungskosten her liegt man im gleichen Bereich wie bei Flüssigphasenbeschichtungen, hat aber deutlich weniger Konfliktpotential mit den sich stetig verschärfenden Umweltauflagen (keine Bäder zu entsorgen etc.). Das häufig vertretene Argument, dass die Einsparung von Pumpen beim Einsatz von Plasmen bei Atmosphärendruck einen Kostenvorteil bietet, muss (gleiche Schichtqualität unterstellt) relativiert werden, da die Betriebskosten deutlich höher liegen, insbesondere, wenn als Schutz‐ und Trägergas Edelgase erforderlich sind.