Premium
Dünnschichttechnologie
Author(s) -
Schultrich, Bernd
Publication year - 2016
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201690013
Subject(s) - materials science , sputtering , analytical chemistry (journal) , physics , nanotechnology , chemistry , thin film , environmental chemistry
Physikalische Gasphasenabscheidung / Vakuumverdampfen / Bedampfen I / Bedampfen II / Zerstäuben von Oberflächen / Sputter‐Abscheidung I / Sputter‐Abscheidung II / Vakuumbogen / Vakuumbogen‐Abscheidung I / Vakuumbogen‐Abscheidung II / Puls‐Laser‐Deposition (PLD) / Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) / Thermische CVD / Plasma‐CVD / Atmosphärendruck‐Plasma‐CVD / Kombinations‐ und Mehrschrittverfahren / Beschichtung von Sondergeometrien / Vakuumanforderungen der PVD / Partikelbildung bei der CVD / Plasma‐Eigenschaften / Gasentladungs‐Plasmen / Plasma‐Randschichten / Wechselfeld‐Plasmen / Anforderungen an Beschichtungsverfahren