Membranbälge für die Vakuumindustrie in verschiedenen Sauberkeitsstufen

Die immer anspruchsvolleren Sauberkeitsspezifikationen der Vakuumindustrie, speziell der Halbleiterfertigung, sind eine grosse Herausforderung für die Herstell‐ und Reinigungsprozesse von Lieferanten in diesem Marksegment. Auch die COMVAT AG als Hersteller von geschweissten Membranbälgen, die in der Vakuumindustrie u.a. als flexible Dichtelemente eingesetzt werden, stellt sich den erhöhten Anforderungen seiner Kunden. Dazu wurde die gesamte Prozesskette vom Design des Produktes über die Herstellung und Endreinigung bis hin zur Inspektion und Verpackung in Reinräumen bis zur ISO‐Klasse 5 nach EN ISO 14644‐1 optimiert. Die Einrichtung von drei Sauberkeitsstufen „Standard”, „Advanced” und „High‐Purity” ermöglicht es den Kunden die jeweils für sie passende Reinheit zu liefern. Dabei wurden die Kundenspezifikation bzgl. der Kontaminationsklassen Organik, Anorganik (Metalle und Ionen) und Partikel beachtet. Die höchste Sauberkeitsstufe, der High‐Purity‐Level, wird durch eine hochwertige Ultraschall‐Nassreinigung erreicht, die eigens für das Reinigen von geschweissten Membranbälgen optimiert wurde.