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Optische Konstanten von Substraten im NIR/MIR‐Spektralbereich
Author(s) -
Franke Christian,
Stenzel Olaf,
Wilbrandt Steffen,
Schürmann Mark,
Wolf Josephine,
Todorova Vera,
Doherty Brenda,
Kaiser Norbert
Publication year - 2016
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201600601
Subject(s) - chemistry
Für die Bestimmung der optischen Konstanten von Substraten und auch Einzelschichten im nahen‐ und mittleren Infrarot wurde eine Vorgehensweise entwickelt, die auch bei verschwindendem Transmissionssignal noch eine konsistente Spektrenauswertung zulässt. Dabei kam eine kombinierte Verwendung des Algorithmus nach Nichlelatti und eines Multi‐Oszillatormodells zum Einsatz, um die optischen Konstanten der Substrate zu bestimmen. Die Basis für die Auswertungen stellten Transmissions‐ und Reflexionsspektren von typischen Substratmaterialien (CaF 2 , Q1 und Saphir) dar, welche mit einem Fourier‐Transform‐Infrarotspektrometer bestimmt wurden. Ein Vergleich der ermittelten optischen Konstanten mit Literaturangaben bestätigte die Validität der verwendeten Vorgehensweise. Auf der Basis bekannter optischer Konstanten der untersuchten Substrate erfolgte im Weiteren die Charakterisierung einer Tantalpentoxid Einzelschicht auf einem Q1‐Substrat mithilfe des Multioszillatormodells. Die Ergebnisse stimmen gut mit einschlägigen Literaturdaten überein.