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Heliumrückgewinnungsanlagen
Author(s) -
Barfuss Heinz
Publication year - 2016
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201600600
Subject(s) - physics , political science , philosophy
Insbesondere im Hinblick auf Umweltzertifizierungen gemäß DIN EN ISO 14001 und Ressourceneinsparungen bietet sich die Rückgewinnung von bereits verwendetem Helium an. Die Anlagen sind als Stand‐Alone‐Systeme konzipiert und gewinnen unabhängig von den angeschlossenen Dichtheitsprüfsystemen das Prüfgas Helium zurück. Bei Heliumkonzentrationen zwischen 20 % und 95 % können je nach Prozessbedingungen bis zu 98 % des Edelgases zurückgewonnen werden.