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Hochleistungsplasmen zur Synthese diamantähnlicher Kohlenstoffschichten
Author(s) -
Bobzin Kirsten,
Brögelmann Tobias,
Bastürk Serhan,
Engels Martin
Publication year - 2015
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201500591
Subject(s) - high power impulse magnetron sputtering , chemistry , analytical chemistry (journal) , sputter deposition , materials science , nanotechnology , sputtering , thin film , chromatography
Beschichtungen aus diamantähnlichem Kohlenstoff (diamond‐like carbon, DLC) finden aufgrund ihrer vielfältig einstellbaren Eigenschaften, z. B. einer hohen Härte als Verschleißschutz in vielen Anwendungsgebieten Verwendung. Hinsichtlich der Synthese dieser Schichten aktuell das High Power Pulsed/Impulse Magnetron Sputtering (HPPMS/HiPIMS) Gegenstand der Forschung, welches im Gegensatz zu etablierten Verfahren, z. B. der Pulsed Laser Deposition (PLD), glatte Schichten ohne weitere Nachbearbeitungsschritte ermöglicht. Vor Abscheidung der Schichten kann das Beschichtungsplasma in‐situ mittels plasma‐analytischer Methoden untersucht und ein Prozessfenster zur Schichtsynthese definiert werden. Das Ziel dieser Arbeit war es, ein Prozessfenster mit einer möglichst hohen Anzahl energiereicher Kohlenstoffionen zu bestimmen, die eine Grundvoraussetzung zur Synthese harter DLC‐Schichten darstellen. Es wurden die hinsichtlich der Kohlenstoffionisation viel‐versprechenden Parameter Prozessgaszusammensetzung und ‐druck sowie die HPPMS‐Pulsparameter variiert, um Parameter für die Schichtsynthese abzuleiten.