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Spitzenwirkungsgrade bei sinkenden Herstellungskosten
Author(s) -
Strauch Kerstin,
Schwarz Florian,
Gatz Sebastian,
Rack Andreas
Publication year - 2014
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201400561
Subject(s) - physics , wafer , optoelectronics
Die Manz AG kommt mit der neuen Beschichtungsanlage VCS1200 der Forderung der PV‐Industrie nach immer höheren Wirkungsgraden bei gleichzeitig sinkenden Produktionskosten nach. Mittels neuartiger HP‐ICP Technologie konnten bereits Wirkungsgrade über 20% erreicht werden. Die hohe Gaszersetzung, die mit diesem Verfahren erreicht wird, sorgt für kompakte Schichten mit sehr guten Passiviereigenschaften. Das ebenfalls neu entwickelte elektrostatische Carriersystem sorgt für eine geringe mechanische Belastung der Wafer bei gleichzeitig vollflächig homogener Abscheidung. Die VCS1200 kann sowohl für Rückseiten‐Passivierungen als auch für Vorderseiten‐Antireflexbeschichtungen eingesetzt werden.