Premium
Feindosiertes Vakuum
Author(s) -
Volkmer Reinhard,
Stiebritz Ingo
Publication year - 2014
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201400554
Subject(s) - physics , chemistry , humanities , philosophy
Besteht der Wunsch, in einer Vakuumanlage über einen weiten Druckbereich beliebige Arbeitspunkte anfahren und halten zu können, ist üblicherweise ein hoher technischer Aufwand mit spezifischen Regelinstrumenten für mehrere Teilbereiche erforderlich. Unter Nutzung eines motorgesteuerten Feindosierventils ist es gelungen, eine präzise Druckregelung über das gesamte Vakuumspektrum von Atmosphäre bis ins Ultrahochvakuum zu ermöglichen. Im Ergebnis steht ein kostengünstiges und einfach zu wartendes System, das insbesondere für Testmessungen an verschiedensten Totaldrucksensoren sowie für Werkskalibrierungen solcher Sensoren geeignet ist.