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Entwicklung multifunktionaler, kubischer Bornitridschichten
Author(s) -
Ulrich Sven,
Ye Jian,
Stüber Michael
Publication year - 2013
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201300532
Subject(s) - gynecology , chemistry , medicinal chemistry , medicine
Dicke, eigenspannungsarme, kubische Bornitridschichten können heute mit maßgeschneiderten Schichtkonzepten mit allen PVD‐ und PECVD‐Verfahren hergestellt werden. Dies lässt sich dadurch erreichen, dass man neben Bor und Stickstoff ein geeignetes drittes Element in der richtigen Konzentration in die Schicht einbaut, beispielsweise 5 at.−% Sauerstoff. Während des Schichtwachstums ist ein definierter, intensiver Ionenbeschuss notwendig, um eine Phasentransformation von hexagonalem zu kubischem Bornitrid zu erreichen. Die notwendigen Prozessparameter sind in sogenannten Parameterlandkarten dokumentiert und veröffentlicht. Nach der Schichtabscheidung schließt sich eine Wärmenachbehandlung im Vakuum für zwei Stunden bei 900°C an.