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Ionenzerstäuberpumpen
Author(s) -
Thierley Marcus
Publication year - 2013
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201300523
Subject(s) - humanities , physics , philosophy
Ionenzerstäuberpumpen blicken auf eine mehr als 50 jährige Geschichte zurück. Das Anwendungsspektrum hat sich in dieser Zeit stark verändert und weist heute einen hohen Spezialisierungsgrad auf. Verschiedene Pumpausführungen bieten für praktisch jede Anwendung die passende Lösung. Die Einführung der Ionenzerstäuberpumpe hat die Vakuumwelt nachträglich beeinflusst.