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Sicher zündende, langzeitstabile Kaltkathode
Author(s) -
Iwicki Jaroslaw,
Pongrac Ivan,
Gottschalk Patrick,
Bauer René,
Schlotter Alexander,
Flämmich Michael,
Bergner Ute
Publication year - 2013
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201300522
Subject(s) - gynecology , physics , chemistry , medicine
Kaltkathoden werden seit Jahrzenten in verschiedenen Bereichen der Vakuumtechnik verwendet, wo ihre Vorteile trotz magnetischer Streufelder, schlechter Zündcharakteristik im UHV‐Bereich und Langzeitstabilität nicht kritisch oder im Rahmen häufiger Wartungsintervalle praktikabel sind. Selbst dann ist aber oft das Erlöschen der Kaltkathodenentladung im UHV bzw. XHV‐Bereich ein Thema für die Experten. In diesem Artikel wird unter Berücksichtigung der zugrunde liegenden Prozesse und deren Korrelation eine optimierte Kaltkathode vorgestellt. Experimentelle Ergebnisse belegen, dass diese, bei gleichzeitiger Reduzierung des magnetischen Streufeldes auf 1 mT in unmittelbarer Nähe des Vakuummeters, die Bestimmung des Druckes im 10 −12 mbar Bereich ermöglicht. Weiterhin konnten die Zündzeiten auf < 60 s bei 1×10 −9 mbar reduziert und die Langzeitstabilität des Sensors erheblich verbessert werden.