Plasma Profiling Mass Spectrometry (PPMS)

Die Plasma Profiling Mass Spectrometry (PPMS) ist eine neue Methode zur Charakterisierung von Oberflächen und Schichten. Dank der RF‐Anregung der abtragenden Glimmlampe können sowohl leitende als auch nicht leitende Materialien analysiert werden. Durch der Kopplung mit der Flugzeitmassenspektrometrie wird das gesamte Massenspektrum simultan erfasst. Sie liefert damit Element‐, Isotopen‐ und im Fall von organischen Schichten auch wertvolle Molekülinformationen. Retroperspektivische Analysen sind jederzeit möglich. Durch die Trennung des Flugzeitmassenspektrometers von der abtragenden Quelle kann ein Probenwechsel innerhalb von wenigen Minuten durchgeführt werden. In Abhängigkeit von den Materialeigenschaften erfolgt die Analyse der Schichten innerhalb von Sekunden bis Minuten. Damit eignet sich diese Methode nicht nur für viele Fragestellungen im Oberflächenlabor, sondern auch sehr gut zur produktionsbegleitenden Kontrolle in der Industrie.