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Elektronenbeugung zur Analyse dünner Funktionsschichten
Author(s) -
Thomas Jürgen,
Ramm Jürgen,
Gemming Thomas
Publication year - 2012
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201200508
Subject(s) - philosophy , physics
Nach einem kurzen geschichtlichen Überblick werden einige Grundlagen der Elektronenbeugung in der Transmissionselektronenmikroskopie erläutert: Elektronen als Wellen, Braggsches Gesetz, Feinbereichs‐ und Feinstrahlbeugung. Die Möglichkeiten der am häufigsten benutzten Feinbereichsbeugung werden anhand von zwei typischen Beispielen demonstriert: Ermittlung der kristallografischen Orientierung in einkristallinen Schichten (piezoelektrisches LiTaO3) und Phasenanalyse in polykristallinen Gefügen (Ni‐Al‐O‐Hartstoffschichten).
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