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MoS 2 /ta‐C‐Kombinationsschichten hergestellt durch Laser‐Arc‐Technologie
Author(s) -
Weihnacht Volker,
Brückner Andreas,
Theiler Géraldine,
Gradt Thomas
Publication year - 2012
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201200500
Subject(s) - materials science , chemistry , arc (geometry) , engineering , mechanical engineering
Mittels lasergesteuerter gepulster Vakuumbogentechnologie (Laser‐Arc) wurde eine reihe von reinen MoS 2 ‐Schichten sowie Kombinationsschichten aus MoS 2 und tetraedrischem amorphen Kohlenstoff (ta‐C) hergestellt. Mit diesen Schichtvarianten erfolgten tribologische Tests im Vakuum sowie in Atmosphäre. Dabei wurden im Hochvakuum reibungskoeffizienten bis zu 0,005 gemessen. Durch die Verwendung einer ta‐C unterschicht konnte eine Lebensdauer von über 5×10 5 Lastzyklen erreicht werden. Zudem erwies sich diese unterschicht als vorteilhaft für das tribologische Verhalten der MoS 2 /ta‐C Schichten unter atmosphärischen Bedingungen.